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主要特点 |
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1. 配置CBI氧浓度及湿度实时监控系统 |
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2. 氧浓度监测范围：0-30%（PPM级可选） |
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3. 洁净度范围：Class10级~1000级可选 |
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4. 尘埃粒径通道:0.3um- 10um，6多通道显示 |
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5. 主动送风及内循环设计，可提高控制精度和均匀性。 |
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6. 标准内容：650L/1200L |
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7. 节能可达90% |
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8. 采用低噪音免维护风机及进口品牌99.99%高效过滤器 |
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9. LCD智控系统可显示，报警，记录和数据导出等功能 |
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10. 选用防静电喷涂，ROHS认证兼容无尘环境 |
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产品主要应用 |
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1. 硅片、LCD玻璃清洗后存放 |
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2. 精密元器件生产过程中暂存 |
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3. 现代微组装工艺 |
