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主要特点 |
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1. 内置耐高温高效过滤器，100级无尘环境 |
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2. 稳定运行温度可250~450℃选择 |
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3. 实时微量氧浓度检测系统，可对内部氧量进行监控 |
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4. 氧浓度监控范围1~9999PPM；最低可达 ≤20PPM |
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5. LCD触摸式 7”中英文彩色可编程控制器 |
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6. 全密封箱体设计，特别送氮和排氧回路，防氧化 |
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7. CBI专利设计双门封结构，免除水冷管路阀件，可靠性高 |
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产品主要应用 |
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1. PI/BCB 胶高温厌氧固化 |
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2. 环氧树脂胶厌氧固化 |
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3. 晶圆退火或钝化 |
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4. 掩模版清洗后无尘防氧化干燥 |
