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主要特点 |
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1. 内置耐高温过滤器 |
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2. 全密封箱体设计，特别送氮和排氧回路，防氧化 |
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3. 配置3.5” 中英文彩色可编程双路控制器。 |
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4. 运行温度可到250/350℃ |
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5. 实时微量氧浓度PPM检测系统（可选） |
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6. 多种内容积可选或定制 |
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7. 可选配CBI自制氮气模块，满足无氮场合 |
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产品主要应用 |
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1. PI/BCB 胶高温厌氧固化 |
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2. 环氧树脂胶厌氧固化 |
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3. 晶圆退火或钝化 |
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4. MSD芯片防氧化低湿干燥 |
